原创力文档《超精密气浮运动平台》（征求意见稿）
编制说明
标准起草组
2026年1月
一、必要性
超精密气浮运动平台是半导体制造设备、精密光学检测装备、高
端数控系统等战略性产业的核心基础部件，其精度、速度与稳定性直
接关系到光刻机、测量机、晶圆检测机等关键装备的整体性能。当前，
我国正加快推进制造强国、质量强国建设，着力突破“卡脖子”关键
技术。制定该领域团体标准，可为相关装备的自主研发、性
《超精密气浮运动平台》（征求意见稿）
编制说明
标准起草组
2026年1月
一、必要性
超精密气浮运动平台是半导体制造设备、精密光学检测装备、高
端数控系统等战略性产业的核心基础部件，其精度、速度与稳定性直
接关系到光刻机、测量机、晶圆检测机等关键装备的整体性能。当前，
我国正加快推进制造强国、质量强国建设，着力突破“卡脖子”关键
技术。制定该领域团体标准，可为相关装备的自主研发、性
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