原创力文档T/CMBNXXXX—XXXX
白光干涉仪制造
1范围
本文件规定了白光干涉仪制造的术语定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和
贮存要求。
本文件适用于基于白光干涉原理的非接触式表面形貌测量仪器的设计、制造与验收。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文
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