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ebsd晶体学与材料学的应用

自电子背散射衍射技术（ebsd技术）的商业化以来已经16年，被称为不新技术作为一

种标准的分析仪，它可以与能谱仪相配合，同时完成材料的微观形状、组成、结构和方向

信息的测量与透射电镜上的结构与取向分析相比，EBSD技术是更简单的衍射分析技术

我国目前已有超过100套的EBSD装置，许多单位已有3套或更多除高校及研究院外，

钢铁企巾是EBSD技术主要用户.EBSD技术新的发展趋势是：扫描电镜附件的复合化，即以

扫描电镜镜筒为基础，集（1）扫描、透射分析、2（）样品加工、3（）拉压、加热试验

等于一体的多功能化;在扫描电镜内完成材料精细加工或制备，实现对材料的形貌、结构

与取向、成分的3维分析，将国际材料的织构会议与国际材料分析电镜会议相比，前一会

议中使用EBSD技术的文章更多例如，2005年在比利时鲁汶大学召开的第14届国际织构

大会上，有约34%的文章涉及EBSD技术;在2008年美国卡涅基-梅隆大学召开的第15届国

际织构会议上，有约40%的文章涉及EBSD技术，特别是3维取向成像专题会占1天半，虽

然使用者还不够广泛，但层次很深我国EBSD技术的应用情况不理想，在国际会议上所

占比重始终很小

1ebsd的对称理论

晶体学是研究晶体的结构、外形及性能的学科它的范围很宽，包含：1（）晶体几何学；

2（）晶体结构学；3（）晶体生成学；4（）晶体物理学；5（）晶体化学这些研究涉及到分

子生物、固体物理、金属学、矿物学及聚合物等广泛领域研究晶体结构可用各种衍射方

法，也可用计算数学方法、对称性理论方法即，狭义地讲，EBSD技术是用衍射方法研究

晶体学问题;广义地看，钎对己有的EBSD数据，还可用如计算数学或对称性理论进一步分

析晶体学问。

晶体学是材料科学的重要组成部分，是材料制备加工中必然反映出来的一个方面;材料性

能的优化是材料工作者的目标，而晶体学变化不但必然存在于材料制备过程中，也必然影

响材料的性能

EBSD技术是扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出的衍射菊池带的分析确定晶体结构、

取向及相关信息的方法，它与透射电镜卜的衍射菊池带的分析没有本质的差别。.与衍射点

倒（易点阵）相比，衍射带更直接显示实际晶面的几何位置。一个菊池带直接对应放大的

晶面在屏幕上的投影，而电子衍射图要通过倒易点阵的原理确定实际晶面的位置。电子衍

射图只是二维信息，并受180。不确定性的影响，菊池花样显示3维晶面的投影，具有唯

一性。EBSD软件的帮助还可使研究者很便利地得到从不同方向观察某一种取向关系。

图1是Zeiss公司生产的NVision40系统示意图

2织构是晶体学的一部分

EBSD技术在我国的应用推广上一直受到较大的障碍，其主要原因可能有如下几方面：：)初

次使用者对相关的晶体学知识认识不够，如取向的概念、晶体投影、对称性、极图;2)对

材料科学中晶体学的作用认识不够，如不清楚材料制备过程中，哪些晶体学信息在变化?3)

对EBSD技术表达数据的方式，设计样品坐标系的认识不够;透射电镜研究者不习惯，也可

能用不上样品坐标系;4)在《材料分析方法》中对EBSD技术介绍的不够。现在的问不

是EBSD技术是什么？如何进行EBSD技术测试?而主要是如何分析EBSD数据？如何用EBSD

技术揭示及解决自己遇到的问?作者根据实际经验讨论如下。

(1)教材。既然EBSD是一种简单的衍射分析方法，为什么中文“材料分析方法”教科书

中很少有相关介绍。笔者认为，相关授教师或教材编者可能只用TEM和X射线研究晶体

结构，