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热丝化学气相沉积制备氮化硅薄膜性能分析.pdf

热丝化学气相沉积制备氮化硅薄膜性能分析.pdf

    摘要

    摘要

    近年来，太阳能电池的广泛应用成为全球能源转型的标志。气候变化和化石

    能源不可持续性促使清洁能源需求增加，推动了光伏技术的快速发展。光伏效

    率提升和生产成本下降，减少了对政府补贴的依赖。同时，储能技术的进步缓

    解了太阳能的间歇性问题，推动光储一体化发展。企业碳中和承诺和公众环保

    意识的提升，使太阳能成为可持续发展的象征，重新定义了人类与自然能源的

    关系。

    氮化硅薄膜因其优异的机械强度、化学稳定性及光学特性，在光伏

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