CN112701184A 一种晶硅电池绒面的制作方法 （天津爱旭太阳能科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN112701184A

(43)申请公布日2021.04.23

(21)申请号202011486175.X

(22)申请日2020.12.16

(71)申请人天津爱旭太阳能科技有限公司

地址300400天津市北辰区经济技术开发

区科技园高新大道与景通路交口东北

侧

申请人浙江爱旭太阳能科技有限公司

广东爱旭科技有限公司

(72)发明人顾生刚陈刚

(74)专利代理机构广州知友专利商标代理有限公司44104

代理人高文龙刘彦

(51)Int.CI.

HO1L31/18(2006.01)

HO1L31/0236(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图1页

(54)发明名称

一种晶硅电池绒面的制作方法

(57)摘要

CN112701184A本发明公开了一种晶硅电池绒面的制作方法，依次使用激光烧蚀、碱制绒和金属离子辅助腐蚀的方式对晶硅电池进行制绒。该方法通过采

CN112701184A

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人人

CN112701184A权利要求书1/1页

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1.一种晶硅电池绒面的制作方法，其特征在于，依次使用激光烧蚀、碱制绒和金属离子辅助腐蚀的方式对晶硅电池进行制绒。

2.根据权利要求1所述的晶硅电池绒面的制作方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

(1)激光烧蚀制绒使用激光在硅片表面进行烧蚀，在硅片表面上形成凹状圆坑或V形槽；

(2)碱制绒使用碱溶液对经步骤(1)制绒的硅片表面进行处理，在形成的凹状圆坑或V形槽的表面上进一步形成金字塔绒面；

(3)金属离子辅助腐蚀使用金属离子辅助腐蚀的方式，在步骤(2)所形成的金字塔绒面上进一步形成纳米级凹坑。

3.根据权利要求2所述的晶硅电池绒面的制作方法，其特征在于，步骤(1)所形成的凹状圆坑的横向直径为30～50μm,深度为20～50μm。

4.根据权利要求2所述的晶硅电池绒面的制作方法，其特征在于，步骤(1)所形成的V形槽的开口为8～15μm。

5.根据权利要求2所述的晶硅电池绒面的制作方法，其特征在于，步骤(2)所述碱制绒的过程中，所使用的碱溶液为质量浓度为1%～3%的氢氧化钠和0.1%～1.5%制绒添加剂的混合溶液。

6.根据权利要求2所述的晶硅电池绒面的制作方法，其特征在于，步骤(2)所述碱制绒的过程中，所使用的碱溶液为质量浓度为1%～3%的氢氧化钾和0.1%～1.5%制绒添加剂的混合溶液。

7.根据权利要求2所述的晶硅电池绒面的制作方法，其特征在于，步骤(2)所形成的金字塔绒面的大小为2～5μm。

8.根据权利要求2所述的晶硅电池绒面的制作方法，其特征在于，步骤(3)所述的金属辅助化学腐蚀，具体操作为：使用0.1mol/L～0.3mol/L硝酸银在4～5mol/L氢氟酸和0.2~1mol/L的双氧水的混合溶液中进行纵向选择性腐蚀，制备纳米孔洞。

9.根据权利要求2所述的晶硅电池绒面的制作方法，其特征在于，步骤(3)所述的金属辅助化学腐蚀，具体操作为：使用0.1mol/L～0.3mol/L硝酸铜在4～5mol/L氢氟酸和0.2~1mol/L的双氧水的混合溶液中进行纵向选择性腐蚀，制备纳米孔洞。

10.根据权利要求8或9所述的晶硅电池绒面的制作方法，其特征在于，步骤(3)所形成的纳米级凹坑的直径为0.1～0.5μm。

CN112701184A说明书1/3页

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一种晶硅电池绒面的制作方法

技术领域

[0001]本发明属于太阳能电池制备技术领域，具体涉及一种晶硅电池绒面的制作方法。

背景技术

[0002]光伏电池作为一种新型清洁能源，近几年受到越来越多的重视，其发展也很迅速，技术日新月异，规模逐年增长，成本越来越低。然而，降本增效一直都是永恒的话题。

[0003]目前，PERC电池(PassivatedEmitterandRearCell,钝化发射极和背面电池)技术已成为光伏行业中提升晶硅太阳电池转换效率的主流高效技术。PERC电池是通过在硅片的背面增加一层钝化层(氧化铝或氧化硅),对硅片起到