电子科大薄膜物理(赵晓辉)第七章薄膜表征.pptVIP

第七章薄膜的表征;材料表征方法;Extractedfrom;厚度和沉积速率表征方法;厚度表征方法;台阶仪;台阶仪测试结果示例;光干涉法;光程差＝;极值出现在：;2.2不透明薄膜厚度的测量

－等厚干涉条纹法;若膜厚不均，干涉条纹也就不规则。若膜厚有台阶，干涉条纹出现台阶，显然相邻干涉条纹间相差λ/2。;石英晶体振荡法;固有频率：;若在蒸镀时石英晶体上接收的淀积厚度(质量膜厚)为dx，则相应的晶体厚度变化为; 优点：原位测量法，引入时间的微分电路，还可测薄膜的生长速度，灵敏度高，20Hz左右，相应于石英的质量膜厚为12埃。

缺点：

（1）只能得到平均膜厚；

（2）当石英晶片与蒸发源位置改变时，需校准；（3）在溅射法中测膜厚，易受电磁干扰；

（4）探头温度不能超过80℃。;形貌表征;;AFM;dislocation;结构表征;TEM;薄膜结构;薄膜内在结构;薄膜相关参数;X射线衍射仪示意图;布拉维格子;XRD图谱;薄膜织构分析;面内和面外取向;薄膜组分;卢瑟福背散射原理;谢谢大家！