半导体制造设备十年革新：2025年光刻机技术演进报告.docx

半导体制造设备十年革新：2025年光刻机技术演进报告模板

一、半导体制造设备十年革新：2025年光刻机技术演进报告

1.1光刻机技术发展背景

1.1.1全球半导体产业竞争日益激烈

1.1.2我国半导体产业快速发展

1.1.3光刻机技术成为国家战略新兴产业

1.2光刻机技术革新历程

1.2.1接触式光刻机到扫描式光刻机

1.2.2极紫外光（EUV）光刻机研发和应用

1.2.3新型光源、光刻胶、掩模等技术涌现

1.32025年光刻机技术演进趋势

1.3.1EUV光刻机成为主流设备

1.3.2新型光源技术推动性能提升

1.3.3新型光刻胶和掩模技术助力性能突破

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