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- 2026-02-09 发布于浙江
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《GBT+11073-2025硅片径向电阻率变化测量方法》
练习题试卷及参考答案
一、单选题（共15题，每题2分，共30分）
1.GB/T11073-2025标准主要适用于测量哪种类型硅片的径向电阻率变化？
A.多晶硅片
B.特定范围的硅单晶片
C.非晶硅薄膜
D.所有半导体晶片
2.该标准所采用的测量方法是？
A.范德堡法
B.扩展电阻探针法
C.直排四探针法
D.涡流法
3.与GB/T11073-2007相比，GB/T11073-2025的主要变化不包括？
A.测量
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