CN113884468A 一种基于超颖表面的光纤湿度传感器及其制作方法 （北京理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN113884468A

(43)申请公布日2022.01.04

(21)申请号202111159334.X

(22)申请日2021.09.30

(71)申请人北京理工大学

地址100081北京市海淀区中关村南大街5

号

(72)发明人黄玲玲刘银王涌天李晓炜

(74)专利代理机构北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)11639

代理人邬晓楠

(51)Int.CI.

GO1N21/41(2006.01)

GO1N21/552(2014.01)

F16B11/00(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种基于超颖表面的光纤湿度传感器及其制作方法

(57)摘要

CN113884468A本发明公开的一种基于超颖表面的光纤湿度传感器及其制作方法，属于传感和测量应用技术领域。本发明公开的光纤传感器主要由光纤、粘接剂、超颖表面和增敏物质组成。通过粘接剂将光纤端面和超颖表面固定在一起。增敏物质涂覆在超颖表面上。超颖表面由具有长方形横截面的不同尺寸、不同方位角的纳米孔阵列构成。所述光纤传感器采用具有不同旋转角度的金属微纳结构产生多个具有不同折射率灵敏度的谐振峰，通过监测谐振峰特征参数的变化能够实现多个传感参数的测量。本发明的制作方法有助于降低纤端光纤传感器的制作成本和制作周期。本发明具有小有效传感面积、多谐振峰、高鲁棒性的

CN113884468A

CN113884468A权利要求书1/2页

2

1.基于纤端超颖表面的光纤湿度传感器，其特征在于：包括光纤(1)、粘接剂(2)、超颖表面(3)和湿度增敏物质(4);所述粘接剂(2)用于将光纤(1)和超颖表面(3)粘接在一起；所述湿度增敏物质(4)用于提高光纤传感器的湿度灵敏度；

在基底上制备所述超颖表面(3);对光纤(1)的端面进行光滑处理，以便粘接剂(2)附着；将光纤(1)和超颖表面(3)之间填充粘接剂(2),并对光纤纤芯(1-1)的中心和超颖表面(3)中心进行对准；对粘接剂(2)进行固化，通过粘接剂提升光纤(1)和超颖表面(3)之间粘接效果，保证所述超颖表面(3)从基底上剥离效果；在附着有所述超颖表面(3)的光纤(1)端面上涂覆湿度增敏物质(4);

超颖表面(3)在入射的光场的作用下产生表面等离子体激元，共振光场与吸附在超颖表面(3)上的湿度增敏物质(4)相互作用，导致光场共振特性发生改变，进而导致基于纤端超颖表面(2)的光纤湿度传感器的光谱谐振峰发生变化；超颖表面(2)光场的主作用区域在光纤纤芯(1-1)和超颖表面的重叠区域，由于光纤纤芯(1-1)直径小进而显著减小传感面积；

超颖表面(3)由周期性孔阵列或是棒阵列组成，通过控制阵列的孔或棒的几何参数控制光纤传感器的光谱谐振峰数量；光场在超颖表面(3)上具有多个共振模式，光场在超颖表面(3)的不同位置处具有不同的场分布，不同的共振模式下的谐振峰对增敏物质(4)折射率具有不同的响应；外界湿度变化将会引起增敏物质的特征参数发生变化，所述湿度增敏物质(4)的特征参数包括折射率和厚度；所述光纤传感器在传感测量过程中通过对光谱不同谐振峰进行检测进而获取传感参量的变化；建立外界湿度变化、湿度增敏物质(4)折射率、光谱谐振峰中心波长的关系；通过采用具有不同旋转角度的金属微纳结构产生多个具有不同折射率灵敏度的谐振峰，通过监测谐振峰的中心波长，实现湿度的测量。

2.如权利要求1所述的基于纤端超颖表面的光纤湿度传感器，其特征在于：所述几何参数包括长、宽、周期、旋转角度；所述多参数包括湿度、温度。

3.如权利要求2所述的基于纤端超颖表面的光纤湿度传感器，其特征在于：为了解决光纤传感器中常见的交叉敏感问题，通过监测光纤传感器中光谱中具有不同灵敏度的多个谐振峰的中心波长，根据多峰方法构建多个谐振峰中心波长与多个传感参数的多元一次方程，通过求解所述多元一次方程实现多参数的测量，且能够避免测量参数之间的交叉敏感问题。

4.如权利要求3所述的基于纤端超颖表面的光纤湿度传感器，其特征在于：为了增强谐振峰光谱对比度，光纤(1)的纤芯(1-1)中心和超颖表面(3)中心重合，所述超颖表面(3)的面积大于光纤纤芯(1-1)的面积且完全覆盖光纤纤芯(1-1)。

5.