光电子器件_第七章红外成像器件.ppt

7.7.红外焦平面阵列探测器单片式红外焦平面阵列混成式红外焦平面阵列Z平面红外焦平面由红外探测器和具有扫描功能的信号读出器组合而成的红外焦平面阵列，是凝视型红外热成像系统的核心。红外焦平面阵列包括光敏元件和信号处理两个部分，可采用不同的光子探测器、信号电荷读出器及多路传输。IR-CCD基本结构一.红外焦平面阵列探测器－单片式单片式又称整体式，可分为两种情况CCD本身就对红外敏感，故探测、转移功能于一体。红外探测器与CCD作在同一基底上，基底通常为Si，而探测器部分常用非本征材料，基本结构为金属－绝缘物－半导体。典型情况分：本征窄带半导体IR-CCD非本征半导体IR-