CN114113701A 高频微细测试治具及其制作方法 （苏州韬盛电子科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN114113701A布日2022.03.01

(21)申请号202111347882.5

(22)申请日2021.11.15

(71)申请人苏州韬盛电子科技有限公司

地址215000江苏省苏州市苏州工业园区

唯文路18号

(72)发明人殷岚勇高宗英

(74)专利代理机构北京化育知识产权代理有限公司11833

代理人闫露露

(51)Int.CI.

GO1R1/04(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图1页

(54)发明名称

高频微细测试治具及其制作方法

(57)摘要

CN114113701A本发明涉及一种高频微细测试治具，包括导向框、治具本体、弹簧针和治具盖板，所述治具盖板盖合在治具本体的一侧，所述导向框卡在治具本体的另一侧，所述治具本体和治具盖板上对应设置若干微细针孔，所述微细针孔的内壁涂附微弧氧化绝缘涂层，所述弹簧针的两端分别插入治具本体和治具盖板上的微细针孔内，并通过微弧氧化绝缘涂层与治具本体和治具盖板绝缘。本发明高频微细测试治具采用金属材质，满足高频传输的需求；在治具本体和治具盖板上的微细针孔内壁上通过微弧氧化涂覆绝缘涂层，大大减少制造成本和生产周期；涂层厚度可以达到小于等于10μm,如此使得微细针孔的间距小于等于0.35mm,弹簧针的直径相对更粗，不容易折断，寿

CN114113701A

CN114113701A权利要求书1/1页

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1.一种高频微细测试治具，其特征在于，包括导向框、治具本体、弹簧针和治具盖板，所述导向框、治具本体和治具盖板均为金属材质，所述治具盖板盖合在治具本体的一侧，所述导向框卡在治具本体的另一侧，所述治具本体和治具盖板上对应设置若干微细针孔，所述微细针孔的内壁涂附微弧氧化绝缘涂层，所述弹簧针的两端分别插入治具本体和治具盖板上的微细针孔内，并通过微弧氧化绝缘涂层与治具本体和治具盖板绝缘。

2.根据权利要求1所述的高频微细测试治具，其特征在于，所述微弧氧化绝缘涂层的厚度为8-20μm。

3.根据权利要求2所述高频微细测试治具，其特征在于，所有的所述微细针孔呈阵列排列，且孔间距≤0.35mm。

4.一种高频微细测试治具的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)加工含微细针孔的治具本体半成品，含微细针孔的治具盖板半成品和导向框半成品；

(2)将步骤(1)加工完成的治具本体半成品和治具盖板半成品做通过微弧氧化工艺涂附微弧氧化绝缘涂层，使治具本体半成品和治具盖板半成品的微细针孔内壁附有绝缘涂层；

(3)将涂层后的治具本体半成品和治具盖板半成品再次加工成成品；

(4)将弹簧针插入治具本体内，然后合上治具盖板，此时弹簧针一端插入治具本体内的微细针孔另一端插入治具盖板的微细针孔；

(5)在导向框半成品表面涂附涂层；

(6)将涂层后的导向框半成品加工成成品；

(7)将导向框固定在治具本体上。

5.根据权利要求4所述高频微细测试治具的制作方法，其特征在于，步骤(2)中所述微弧氧化绝缘涂层的厚度为10±1μm。

CN114113701A说明书1/3页

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高频微细测试治具及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及高频微细测试治具领域，具体涉及一种高频微细测试治具及其制作方

法。

背景技术

[0002]目前市场上的高频测试治具按材质分为两种：塑料材质的测试治具和金属材质的测试治具。

[0003]塑料材质的测试治具本体是塑料绝缘件，但是探针自身的感抗、容抗比较高，在高频信号的传输上损耗大，无法满足更高频率的传输要求。

[0004]金属材质的测试治具，是以金属材料为主体，金属主体设有针孔，弹簧针和金属主体之间插入复合绝缘体实现弹簧针和金属主体之间的绝缘，虽能满足性能，但加工工序繁琐，加工周期很长，且绝缘材料的厚度至少要0.08mm,在细微孔间距上受限制，无法做到孔间距在0.35mm以下，高厚度的绝缘层导致弹簧针的直径更细，影响弹簧针的寿命。

发明内容

[0005]本发明的目的在于提供一种高频微细测试治具及其制作方法，用以解决现有技术中的塑料测试治具无法满足高频传输及金属测试治具加工繁琐且弹簧