深度解析(2026年)《SJT 11504-2015碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法》.pptxVIP

;目录;;;;;;;标准适用范围的精确定义：何种晶型、晶向、尺寸与工艺阶段的抛光片适用？;规范性引用文件的网络构建：标准如何“站在巨人肩膀上”确保技术严谨性？;核心术语定义的“统一语言”：为何明确定义“表面缺陷”、“粗糙度”、“划痕”等是关键第一步？;;超净环境与稳定温湿度：为何测试环境是获得可靠数据的“第一道防线”？;样本清洗与夹持的“无干扰”艺术：如何避免制备过程引入二次缺陷或假象？;测试前的状态平衡与定位：标准操作程序（SOP）中不容忽视的“静置”与“对准”;;原子力显微镜（AFM）：探秘纳米级表面起伏的“触觉大师”及其工作模式选择;光学干涉仪（白光/相移干涉仪）：快