深度解析(2026年)GBT 37959-2019《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》.pptxVIP

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一、专家深度剖析：GB/T37959-2019为何成为半导体装备“数字基因”构建的奠基性标准与核心纲领？

（一）从离散图纸到系统模型：标准如何定义设计信息模型的革命性内涵与核心构成？

（二）解构标准框架：总则、通用要求、详细要求与验证如何环环相扣构建完整体系？

（三）直面行业痛点：标准如何针对性解决装备研发中的数据孤岛、协同低效与知识传承难题？

二、未来工厂的“数字孪生”基石：探寻标准如何为工艺腔室装备构建全生命周期数据主线（一）设计源头的数据标准化：为何说统一的信息模型是数字孪生体“血脉畅通”的前提？

（二）从概念设计到运维退役：信息模型如何贯穿并赋能装