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基于热丝化学气相沉积技术的TOPCon太阳电池薄膜制备研究.pdf

基于热丝化学气相沉积技术的TOPCon太阳电池薄膜制备研究.pdf

    摘要

    摘要

    隧穿氧化层钝化接触（TOPCon）太阳电池因高转换效率、低成本等优势，

    目前占据较大的市场份额，其多晶硅层（（Poly-Si）质量直接影响电池载流子传输

    和表面钝化效果，低成本、高质量的Poly-Si是TOPCon电池技术的研究方向之

    一。热丝化学气相沉积（HWCVD）具有薄膜质量好、沉积速率较快、气体利用

    率高、无绕镀等优点，在TOPCon太阳电池Poly-Si层的制备中极具发展潜力。

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