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压电纤维微驱动器：基础、特性与多元应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的迅猛发展，对微小尺寸、高精度、高响应速度的驱动装置的需求日益增长，压电纤维微驱动器应运而生，并在众多关键领域中展现出不可或缺的重要性。

在微机电系统（MEMS）领域，压电纤维微驱动器作为核心部件，为实现微型化、集成化的机电系统提供了关键的驱动解决方案。MEMS技术致力于将微型传感器、执行器和处理电路集成在一个微小的芯片上，以实现高度集成化和多功能化的系统。压电纤维微驱动器凭借其结构简单、易于微型化的特点，能够很好地适应MEMS系统对微小尺寸和高集成度的要求。例如，在微型机器人的设计中，压电纤