CN111403168A 一种磁性薄膜环形电感器的制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111403168A

(43)申请公布日2020.07.10

(21)申请号202010216035.4

(22)申请日2020.03.25

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)

西源大道2006号

(72)发明人孙科郑璐刘海余忠邬传健蒋晓娜兰中文

(74)专利代理机构电子科技大学专利中心51203

代理人吴姗霖

(51)Int.CI.

H01FH01F

H01FH01F

41/04(2006.01)

41/18(2006.01)

41/22(2006.01)

41/00(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图5页

(54)发明名称

一种磁性薄膜环形电感器的制作方法

(57)摘要

CN111403168A一种磁性薄膜环形电感器的制作方法，属于电感器制作技术领域。首先，在基片上制作下层线圈；然后，采用旋转喷涂法制备磁芯薄膜；最后，在得到的磁芯薄膜上制作上层线圈，即可得到环形电感器。本发明提供了一种磁性薄膜环形电感器的制作方法，采用高频软磁各向同性薄膜作为磁芯薄膜，并采用旋转喷涂法制备磁芯薄膜，在空气中90℃即可完成晶化，一方面，生产能耗低，采用低温沉积技术即可完成磁芯薄膜的制备，对环境及设备要求低，可实现大规模生产；另一方面，该方法得到的环形电感器同时具有高电

CN111403168A

500y-500μm

500

y

CN111403168A权利要求书1/1页

2

1.一种磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、在基片上制作下层线圈；

步骤2、采用旋转喷涂法制备磁芯薄膜；

2.1将亚硝酸盐和乙酸盐加入去离子水中，混合均匀，得到氧化液；其中，亚硝酸盐的浓度为0.1506g/L,乙酸盐的浓度为1.4257g/L;

2.2将二价铁盐、可溶性镍盐和可溶性锌盐加入去离子水中，配制得到还原液；其中，二价铁盐的浓度为1.5367g/L,可溶性镍盐的浓度为0.1883～0.2824g/L,可溶性锌盐的浓度为0.0369～0.0924g/L;

2.3采用超声波雾化系统，超声源功率为3W,在基片上沉积磁芯薄膜：首先，分别将步骤

2.1得到的氧化液和步骤2.2得到的还原液雾化为粒径为38μm的液滴；然后，将还原液与氧化液分别经两个喷嘴同时喷射至放置于旋转平台上的步骤1处理后得到的基片上，还原液的喷射流量为12～16mL/min,氧化液的喷射流量为12～16mL/min,在旋转平台转速为80~120rpm、温度为90～110℃的条件下，喷涂20～60min,得到磁芯薄膜；

步骤3、在步骤2得到的磁芯薄膜上制作上层线圈，即可得到环形电感器。

2.根据权利要求1所述的磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，步骤2所述磁芯薄膜的厚度为1～3μm。

3.根据权利要求1所述的磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，步骤1所述亚硝酸盐为亚硝酸钠；所述乙酸盐为乙酸钠。

4.根据权利要求1所述的磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，步骤2所述二价铁盐为氯化亚铁；所述可溶性镍盐为氯化镍；所述可溶性锌盐为氯化锌。

5.根据权利要求1所述的磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，步骤1在基片上制作下层线圈的具体过程为：在硅基片上沉积二氧化硅绝缘层，然后采用电镀工艺制作下层线圈，再沉积一层聚酰亚胺作为绝缘支撑层。

6.根据权利要求1所述的磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，步骤3在磁芯薄膜上制作上层线圈的具体过程为：在步骤2得到的磁芯薄膜上沉积一层聚酰亚胺作为绝缘支撑层，然后采用电镀工艺制作线圈的上层线圈，即可得到环形电感器。

CN111403168A说明书1/5页

3

一种磁性薄膜环形电感器的制作方法

技术领域

[0001]本发明属于电感器制作技术领域，具体涉及一种与半导体工艺兼容的磁性薄膜环形电感器的制作方法。

背景技术

[0002]随着信息科技的飞速发展，遵循着摩尔定律，电子产品不断升级换代，电子系统的尺寸越来越小，集成度和工作频率越来越高，并且系统中集成的功能越来越多。与此