原创力文档TOC\o1-3\h\z\u153182026年先进制程光掩膜项目建议书 2
1572一、项目背景 2
171761.1行业现状及发展趋势 2
217811.2光掩膜技术在先进制程中的作用 3
120941.3项目的重要性及其对未来发展的影响 4
28757二、项目目标 6
323942.1项目总体目标 6
243022.2具体目标（包括技术目标、市场目标等） 7
241662.3项目预期成果及影响 9
30984三、项目内容 10
115703.1项目核心技术介绍 10
222563.2项目研发内
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