MEMS-FPI C14272 微小型近红外光谱仪.pdf

第33卷第13期光学精密工程Vol.33No.13

2025年7月OpticsandPrecisionEngineeringJul.2025

文章编号1004-924X(2025)13-2020-16

微小型MEMS-FPI近红外光谱仪

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