MEMS技术赋能电压电流集成传感器的创新与突破.docxVIP

MEMS技术赋能电压电流集成传感器的创新与突破

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子技术与信息技术飞速发展的背景下，传感器作为连接物理世界与数字世界的关键纽带，其重要性愈发凸显。微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术作为传感器领域的核心支撑技术，正引领着传感器朝着微型化、集成化、智能化和高性能化的方向迈进。

MEMS技术是建立在微米/纳米技术基础上的多学科交叉的前沿研究领域，它将微电子技术和微机械加工技术相结合，能够在一块芯片上同时实现微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口以及电源等功能。MEMS技术的出现