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研究报告

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2025至2030中国微机电系统行业市场行业调研及市场前景预测评估报告

一、行业概述

1.1行业定义及分类

微机电系统（MicroElectroMechanicalSystems，简称MEMS）是一种集微型传感器、执行器、信号处理和控制电路于一体的微型系统。它通过微加工技术将机械、电子和信息技术集成在微米尺度的芯片上，实现了对微小物理量的检测、控制和转换。行业定义上，MEMS技术涵盖了从材料、器件设计、制造工艺到系统集成等多个环节。

MEMS的分类可以根据其功能和应用领域进行划分。首先，按照功能，MEMS可以分为传感器、执行器和混合型MEMS。