宣贯培训(2026年)《GBT 14142-2017硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法》.pptxVIP

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目录

一、走进微观世界：专家视角深度剖析腐蚀法如何成为硅外延层晶体完整性检验的“金标准”与行业基石

二、追本溯源与面向未来：深度解读GB/T14142-2017标准修订背景、核心变迁及其对第三代半导体材料发展的前瞻性指导

三、从原理到现象：深度剖析化学腐蚀揭示晶体缺陷的微观机制，解密腐蚀图形与位错、层错等缺陷的对应密码

四、实验室的“基石”：专家带您层层拆解腐蚀检验前的核心准备工作——样品制备、腐蚀液配制与设备环境精准控制

五、步步为营，精准操作：(2026年)深度解析腐蚀过程关键步骤标准化操作流程，规避常见误差，确保结果重现性与可靠性

六、显微世界的判读艺术：专家传授腐蚀图形