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- 2026-02-13 发布于北京
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洁净厂房设计规范
3.0.1洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表
3.0.1确定。
表3.0.1洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
空气洁大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
净
0.1μ0.20.30.5μ
度等级1μm5μm
m
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