洁净厂房设计:空气洁净度等级与平面布局要求.pdfVIP

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  • 2026-02-13 发布于北京
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洁净厂房设计:空气洁净度等级与平面布局要求.pdf

洁净厂房设计规范

3.0.1洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表

3.0.1确定。

表3.0.1洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

空气洁大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)

0.1μ0.20.30.5μ

度等级1μm5μm

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