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射频功率LDMOS器件鲁棒性的多维度解析与优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的浪潮中，射频功率器件作为电子系统中的关键部件，广泛应用于通信、工业、医疗、雷达等众多领域，对推动各领域的技术进步和产业发展发挥着不可或缺的作用。其中，射频功率LDMOS（LateralDouble-diffusedMetalOxideSemiconductor，侧向双扩散金属氧化物半导体）器件凭借其独特的结构和优异的性能，在众多射频功率器件中脱颖而出，占据了重要的市场地位。

从通信领域来看，随着移动通信技术从2G到5G乃至未来6G的不断演进，对通信设备的性能要求日益严