CN108986986A 一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法 （浙江浙能技术研究院有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN108986986A

(43)申请公布日2018.12.11

(21)申请号201810645068.3

(22)申请日2018.06.21

(71)申请人浙江浙能技术研究院有限公司

地址311121浙江省杭州市余杭区余杭塘

路2159-1号浙能创业大厦

(72)发明人周阳辛臧孝贤王超骆周扬李卓斌

(74)专利代理机构浙江翔隆专利事务所(普通合伙)33206

代理人戴晓翔

(51)Int.CI.

H01B13/00(2006.01)

C01B32/16(2017.01)

C01B32/184(2017.01)

权利要求书1页说明书4页附图1页

(54)发明名称

一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法

(57)摘要

CN108986986A本发明涉及薄膜电极制造领域，特别是一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法。针对现有三维薄膜电极表层的薄膜电极层变形加工麻烦、变形效果难控制以及制造周期长效率低等缺陷，本发明提供一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法，将固态磨料颗粒放置于薄膜电极表层进行磨压，所述磨压是对固态磨料自上而下施压使其部分嵌入薄膜电极表层让薄膜电极表层变形产生压痕，所述压痕在薄膜电极表层上形成相应高低不平的三维起伏，然后卸压并移除固态磨料后制得三维薄膜电极，所述薄膜电极由基底层和设于其上的薄膜电极层组成，且薄膜电极层为薄膜电

CN108986986A

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CN108986986A权利要求书1/1页

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1.一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是将固态磨料(3)颗粒放置于薄膜电极表层进行磨压，所述磨压是对固态磨料(3)自上而下施压使其部分嵌入薄膜电极表层让薄膜电极表层变形产生压痕，所述压痕在薄膜电极表层上形成相应高低不平的三维起伏，然后卸压并移除固态磨料(3)后制得三维薄膜电极，所述薄膜电极由基底层(1)和设于其上的薄膜电极层(2)组成，且薄膜电极层(2)为薄膜电极表层。

2.根据权利要求1所述的一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述薄膜电极的基底层(1)为单层结构或多层结构。

3.根据权利要求2所述的一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述基底层(1)为单层的形变层，形变层在磨压过程中随薄膜电极层(2)形状改变同步形变；或者所述基底层(1)为单层的刚性层，刚性层在磨压过程中保持平面状态不发生形变。

4.根据权利要求2所述的一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述基底层(1)为多层结构，多层结构中紧邻薄膜电极层(2)的一层为形变层，形变层在磨压过程中随薄膜电极层(2)形状改变同步形变；或者多层结构中紧邻薄膜电极层(2)的一层为刚性层，刚性层在磨压过程中保持平面状态不发生形变。

5.根据权利要求1所述的一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述薄膜电极层(2)基于石墨烯薄膜或碳纳米管薄膜制成。

6.根据权利要求1所述的一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述固态磨料(3)的平面尺寸小于100微米。

7.根据权利要求6所述的一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述固态磨料(3)为氧化锆球。

8.根据权利要求1至7之一所述的一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法，其特征是所述磨压和卸压进行一次或多次重复进行。

CN108986986A说明书1/4页

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一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法

技术领域

[0001]本发明涉及薄膜电极制造领域，特别是一种使用磨料制作三维薄膜电极的方法。

背景技术

[0002]申请人在先申请了一种三维碳纳米管薄膜电极和一种三维石墨烯薄膜电极，这两种三维薄膜电极的表层均为高低不平具有三维起伏的薄膜电极层(即导电薄膜),所述三维薄膜电极的导电薄膜摆脱了原来常规薄膜电极平面面积的限制，获得比平面面积更大的接触面积，进而为使用薄膜电极的电子器件性能提升创造有利条件，这种接触面积大幅提升的薄膜电极可广泛应用于储能电池、超级电容、太阳能电池、OLED、柔性电子、透明电子等器件领域。但是前述三维薄膜电极对表层的三维起伏加工