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复杂结构硅基MEMS压力敏感膜片的制备与多元应用探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，传感器技术作为获取信息的关键手段，在众多领域中发挥着不可或缺的作用。硅基MEMS压力敏感膜片作为MEMS压力传感器的核心部件，以其卓越的性能和广泛的应用前景，成为了传感器领域的研究热点。

硅基MEMS压力敏感膜片凭借其微型化、集成度高、响应速度快、抗干扰能力强以及成本低等显著优势，在工业、医疗、航空航天、汽车电子等诸多领域展现出重要价值。在工业领域，它可用于监测管道内的流体压力，实现工业生产过程的精确控制，保障生产的安全与高效；在医疗领域，能应用于血压计、血糖仪等设备，