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等离子清洗工艺调试技师（中级）考试试卷及答案

一、填空题（每题1分，共10分）

1.等离子体通常被称为物质的第______态。

2.等离子清洗常用惰性气体有氩气、______等。

3.等离子设备功率单位符号为______。

4.真空度常用单位有Pa和______。

5.气体电离产生的活性粒子包括离子、电子和______。

6.去除金属氧化物常用活性气体是______。

7.真空系统由真空泵、______和真空规组成。

8.清洗时间过短会导致______。

9.等离子清洗核心作用是除污和______。

10.需定期检查______的密封性防止漏气。

答案：1.四；2.氦气；3.W；4.Torr；5.自由基；6.氧气；7.真空腔；8.清洗不彻底；9.表面活化；10.真空腔门

二、单项选择题（每题2分，共20分）

1.适合金属氧化清洗的气体是？

A.氩气B.氧气C.氮气D.氦气

答案：B

2.等离子清洗真空度一般控制在？

A.10?1~10?2PaB.101~102PaC.103~10?PaD.10?~10?Pa

答案：B

3.功率过高会导致？

A.清洗不彻底B.表面刻蚀过度C.真空不稳定D.气体消耗少

答案：B

4.等离子清洗原理不包括？

A.物理轰击B.化学反应C.热蒸发D.表面活化

答案：C

5.清洗后接触角变大的可能原因是？

A.功率过高B.时间过长C.气体类型错D.真空过低

答案：C

6.安全操作要求是？

A.运行时开腔门B.湿手操作面板C.确认气压力再启动D.不戴防护镜

答案：C

7.影响清洗均匀性的因素不包括？

A.工件位置B.电极分布C.气体流量D.环境温度

答案：D

8.塑料清洗常用气体组合是？

A.氩气+氧气B.氮气+氦气C.氢气+氩气D.CO?+氩气

答案：A

9.真空泵油需更换的主因是？

A.变质B.挥发C.混入污染物D.粘度变

答案：C

10.清洗后工件润湿性会？

A.变好B.变差C.不变D.不确定

答案：A

三、多项选择题（每题2分，共20分）

1.等离子清洗应用领域包括？

A.电子制造B.半导体封装C.汽车零部件D.塑料处理

答案：ABCD

2.影响清洗效果的参数有？

A.功率B.气压C.时间D.气体种类

答案：ABCD

3.设备主要组成部分有？

A.真空系统B.电源系统C.气体供应D.控制系统

答案：ABCD

4.安全防护措施包括？

A.戴防护镜B.气体泄漏报警C.设备接地D.定期通风

答案：ABCD

5.常见等离子体类型有？

A.辉光放电B.电弧放电C.射频等离子体D.微波等离子体

答案：ABCD

6.污染物残留原因可能是？

A.时间不足B.功率不够C.气体纯度低D.真空不够

答案：ABCD

7.活化作用表现为？

A.引入极性基团B.增加粗糙度C.提高润湿性D.除油脂

答案：AC

8.真空抽不上去的原因？

A.真空泵故障B.腔漏气C.油不足D.流量过大

答案：ABC

9.适合清洗的材料有？

A.金属B.塑料C.陶瓷D.玻璃

答案：ABCD

10.工艺优化方法有？

A.正交试验B.单因素变量法C.响应面法D.经验调整

答案：ABCD

四、判断题（每题2分，共20分）

1.等离子清洗必须在真空下进行。（×）

2.功率越大效果越好。（×）

3.氧气等离子体除有机污染物。（√）

4.时间越长活化越持久。（×）

5.运行时可随意调气体流量。（×）

6.氩气等离子体用于物理轰击。（√）

7.真空越低等离子体密度越大。（×）

8.等离子清洗不损伤工件。（×）

9.维护时需关电源和气源。（√）

10.不同材料需不同参数。（√）

五、简答题（每题5分，共20分）

1.简述等离子清洗基本原理。

答案：利用低压气体电离产生等离子体，含离子、电子、自由基等活性粒子。通过物理轰击（离子剥离表面污染物）和化学反应（自由基与污染物生成挥发性物质）除污；同时活性粒子在表面引入极性基团，提高润湿性和结合力，实现清洗+活化。

2.工艺参数选择依据是什么？

答案：①工件材料：金属控功率防刻蚀，塑料选氩氧混合气；②污染物类型：有机用氧气，氧化物用氢/氧气，颗粒用氩气；③清洗要求：均匀性需调工件位置，活化需延长时间（避免过度刻蚀）；④设备限制：匹配设备功率、真空范围。

3.如何排查清洗不均问题？

答案：①检查工件：是否偏离中心、堆叠；②调参数：试调整功率、气压；③查设备：腔是否漏气、电极是否磨损、喷嘴是否堵；④验气体：换高纯气体；⑤重复试验：对比不同位置效果，确认问题解决。

4.安全操作要点有哪些？

答案：①开机前：查气压力、油位、腔密封性；②佩戴防护：镜、手套；③运行禁：开腔门、摸电极、调高压；④异常：漏气得关气源通风，报警停机；⑤维护后：确认无工具残留再开机；⑥接地：设备可靠接地。

六、讨论题（每题5分，共10分）

1.如何优化铝制汽车