等离子清洗工艺调试技师（初级）考试试卷及答案.docVIP

等离子清洗工艺调试技师（初级）考试试卷及答案

等离子清洗工艺调试技师（初级）考试试卷

一、填空题（每题1分，共10分）

1.等离子清洗按产生环境主要分为____等离子清洗和常压等离子清洗。

2.常用的惰性清洗气体包括氩气、____等。

3.等离子清洗设备的核心部件是____发生器。

4.工艺参数中，____决定等离子体的能量密度。

5.真空等离子清洗的真空度通常控制在____Pa以下。

6.清洗后工件表面的接触角会____（填“增大”或“减小”）。

7.活性清洗气体中，____常用于去除有机物。

8.等离子体中带电粒子的运动受____和磁场控制。

9.清洗时间过短易导致____。

10.设备日常维护需检查____泄漏情况。

二、单项选择题（每题2分，共20分）

1.以下属于惰性清洗气体的是（）

A.氧气B.氩气C.氢气D.氟气

2.真空等离子清洗不包含的系统是（）

A.真空系统B.气体系统C.加热系统D.电源系统

3.功率增大时，等离子清洗速率会（）

A.加快B.减慢C.不变D.不确定

4.导致清洗效果下降的常见原因是（）

A.真空度稳定B.工件堆叠C.气体纯度99.9%D.时间足够

5.等离子清洗的主要作用不包括（）

A.去油污B.活化表面C.镀膜D.去氧化层

6.常压等离子清洗的优势是（）

A.真空度高B.无需真空设备C.清洗面积小D.成本极高

7.气体流量主要影响等离子体的（）

A.浓度B.温度C.真空度D.功率

8.设备开机前必须检查的是（）

A.工件数量B.电源电压C.清洗液浓度D.水温

9.不适合等离子清洗的工件是（）

A.金属B.塑料C.不耐高温有机物D.玻璃

10.清洗后工件润湿性会（）

A.变好B.变差C.不变D.不确定

三、多项选择题（每题2分，共20分）

1.等离子清洗的应用领域包括（）

A.电子B.半导体C.汽车D.纺织

2.工艺调试需监控的参数有（）

A.功率B.时间C.气体流量D.真空度

3.活性气体清洗的作用有（）

A.去有机物B.去氧化层C.活化表面D.钝化表面

4.设备安全操作注意事项（）

A.戴绝缘手套B.真空下禁止开门C.检测气体泄漏D.无需接地

5.等离子体的组成部分（）

A.电子B.离子C.中性粒子D.光子

6.真空等离子清洗步骤包括（）

A.抽真空B.通气体C.激发等离子体D.破真空

7.工艺参数优化目标（）

A.清洗效果好B.效率高C.成本低D.环保

8.惰性气体清洗特点（）

A.物理轰击为主B.无化学反应C.适合敏感材料D.去氧化层快

9.设备维护内容（）

A.真空泵换油B.电极清洁C.真空计校准D.管路检查

10.等离子清洗与传统清洗区别（）

A.无废液B.环保C.清洗微小结构D.成本低

四、判断题（每题2分，共20分）

1.等离子清洗属于化学清洗（）

2.真空度越高，清洗效果越好（）

3.氧气可去除工件表面有机物（）

4.清洗时间越长，效果越好（）

5.常压等离子无需真空系统（）

6.开机后可直接通气体（）

7.污染重的工件需增大功率（）

8.氩气可去除金属氧化层（）

9.清洗后工件需立即使用（）

10.接地不良会导致漏电（）

五、简答题（每题5分，共20分）

1.简述等离子清洗的基本原理。

2.真空等离子清洗设备的主要组成部分有哪些？

3.工艺调试中，功率与清洗时间的关系是什么？

4.等离子清洗的安全操作注意事项有哪些？

六、讨论题（每题5分，共10分）

1.工件清洗后仍有残留油污，可能的原因及排查解决方法？

2.对比真空等离子与常压等离子清洗的适用场景及优缺点。

---

参考答案

一、填空题答案

1.低压（真空）

2.氮气

3.等离子

4.功率

5.100

6.减小

7.氧气

8.电场

9.清洗不彻底

10.气体（或真空）

二、单项选择题答案

1.B2.C3.A4.B5.C6.B7.A8.B9.C10.A

三、多项选择题答案

1.ABCD2.ABCD3.ABC4.ABC5.ABCD6.ABCD7.ABCD8.ABC9.ABCD10.ABC

四、判断题答案

1.×2.×3.√4.×5.√6.×7.√8.×9.√10.√

五、简答题答案

1.基本原理：利用等离子体中的高能电子、离子、自由基等粒子，通过物理轰击（如氩离子撞击去除颗粒/油污）或化学反应（如氧气与有机物分解）清除污染物，同时在工件表面引入极性基团，提升润湿性。核心是等离子体与表面的物理/化学相互作用，实现清洁+活化。

2.主要组成：①等离子发生器（激发气体）；②真空系统（真空泵、真空计、阀）；③气体系统（气瓶、流量计）；④反应腔室（放置工件）；⑤控制系统（PLC、触摸屏）；⑥安全系统（接地、急停）。

3.功率与时间关系：①功率增大→等离子能量密度提高，清洗速率加快，时间可缩短；②功率过小→需延长时间，但过长易损伤工