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聚合物微流控芯片超声波键合方法的探索与优化

一、引言

1.1研究背景与意义

随着微纳制造技术的飞速发展，微流控芯片作为一种能够在微米尺度上精确操控和处理流体的微型器件，在生物医药、化学分析、环境监测、食品安全等众多领域展现出了巨大的应用潜力，已然成为当前微纳技术领域的研究热点之一。聚合物材料由于具有良好的生物兼容性、较低的成本、易于加工成型以及丰富的种类等诸多优势，在微流控芯片的制备中得到了广泛的应用，常见的聚合物材料包括聚二甲基硅氧烷（PDMS）、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、环烯烃共聚物（COC）、聚碳酸酯（PC）等。

键合技术是制备聚合物微流控芯片的关键环节之一，其主要作用是将带有微