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MOCVD系统检漏技术

宋健，张清旭

（化学与物理电源重点实验室，天津300384）

摘要：介绍MOCVD的基本原理和几种常见的检漏方法，探讨MOCVD系统各部分的作用及其检漏技术，使工艺人员能够快速

有效的确定设备各部分漏率，辅助分析产品的缺陷，最后给出降低MOCVD系统漏率的有效措施。

关键词：系统；漏率检测；氦质谱检漏仪法

MOCVD

中图分类号：文献标识码：DOI：

TN305B10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2019.09.53

1MOCVD技术背景吸附、化合、成核、生长。

MOCVDMetalOrganicChemicalVaporDeposition

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