CN1446691A 利用微影蚀刻制程制作喷墨式打印头的喷孔片的方法 （飞赫科技股份有限公司）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局[51]Int.CI?

B41J2/16

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号X

[43]公开日2003年10月8日[11]公开号CN1446691A

[22]申请日2002.3.25[21]申请X

[71]申请人飞赫科技股份有限公司地址台湾省新竹市

[72]发明人林刘恭杨明勋杨长谋陈贵铨

[74]专利代理机构隆天国际知识产权代理有限公

司

代理人陈红潘培坤

权利要求书2页说明书4页附图5页

[54]发明名称利用微影蚀刻制程制作喷墨式打印

头的喷孔片的方法

[57]摘要

一种喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，是先在一硅芯片表面上形成一第一薄膜，其中第一薄膜内包含有一第一开口，位于硅芯片的一个致动组件上方。然后，依序在第一薄膜上形成一第二薄膜以及一光阻层，其中光阻层内包含有一第二开口，位于该第一开口上方。接着，进行蚀刻制程以去除第二开口下方的第二薄膜，进而在第二薄膜内形成一孔洞，可使第一开口与孔洞连通。

知识产权出版社出版X权利要求书第1/2页

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1.一种喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，包括下列步骤：

提供一硅芯片，其包含有至少一致动组件；

5在该硅芯片表面上形成一第一薄膜，该第一薄膜内包含有一第一开口，位于该致动组件上方；

在该第一薄膜上覆盖一第二薄膜；

在该第二薄膜上形成一光阻层，该光阻层内包含有一第二开口，位于该第一开口上方；以及

10进行蚀刻制程，将该光阻层的开口下方的该第二薄膜去除，以在该第二薄膜内形成一孔洞，以使该第一开口与该孔洞连通。

2.如权利要求1所述的喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，其中所述的第一开口的制作方法包含有下列步骤：

在该硅芯片表面上覆盖该第一薄膜；以及

15对该第一薄膜进行曝光与显影制程，以在该第一薄膜内形成该第一开口，且该第一开口位于该致动组件的上方。

3.如权利要求1所述的喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，其中所述的第二开口的制作方法包含有下列步骤：

在该第二薄膜上涂布该光阻层；以及

20对该光阻层进行曝光与显影制程，以于该光阻层内形成该第二开口，并使该第二开口位于该第一开口上方。

4.如权利要求1所述的喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，其中，制

作完成所述的孔洞之后，另包含有一步骤：去除该光阻层。

5.如权利要求1所述的喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，其中所述

25的蚀刻制程是电浆干蚀刻制程。X权利要求书第2/2页

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6.如权利要求5所述的喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，其中所述的电浆干蚀刻制程是以氧气作为主要蚀刻气体。

7.如权利要求1所述的喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，其中所述的第一薄膜的材质是高分子材质。

58.如权利要求1所述的喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，其中所述的第二薄膜之材质是高分子材质。

9.如权利要求1所述的喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，其中所述的致动组件是一薄膜加热器。X说明书第1/4页

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利用微影蚀刻制程制作喷墨式打印头的喷孔片的方法

5技术领域

本发明涉及一种喷墨式打印头(inkjetprinthead)的喷孔片(nozzleplate)的制作方法，特别是一种利用微影蚀刻制程制作喷孔(nozzleorifice)的方法。

10背景技术

在计算机打印设备的主流产品中，喷墨打印机的打印技术是将精确体积的微量墨水液滴，快速地通过计算机数值驱动放置在精确的特定位置，不但可提供高分辨率、全彩的图片输出，还可满足电子工业制造技术对自动化、微小化、降低成本、降低