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数字式电容微位移传感器：原理、性能与多元应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学技术飞速发展的时代，微位移测量技术作为精密测量领域的关键支撑，正日益受到广泛关注。微位移传感器作为实现微位移测量的核心部件，其性能的优劣直接影响到众多领域的技术水平和发展进程。在机械制造领域，微位移传感器用于监测机床刀具的微小位移，对于保障加工零件的尺寸精度和表面质量起着决定性作用；在电子制造行业，如芯片制造过程中，精确控制光刻机的对位和对焦需要依赖微位移传感器来确保芯片图案的精度和一致性，这直接关系到芯片的性能和电子产品的整体质量；在生物医学领域，微位移传感器可应用于细胞操作、生物分子检测等微观层