微功耗电容式微加速度计前端设计与测试.pdfVIP

用于电容式微加速度计的微功耗前端

MikaKämäräinen,MikkoSaukoski和KariHalonen

电子电路设计

赫尔辛基工业大学

埃斯波，芬兰

‑本文介绍了为电容式微加速度计设计的微功耗差分开关电容前端的测量结果。

在考虑测量结果之前，分析了静电作用力的影响。所设计的前端能够减少这

些影响。采用斩波稳定技术来降低偏移电压。前端采用0.13CMOS工艺实现。

2

前端的硅面积为0.325mm。测量结果显示，前端的功能与理论一致，并在

10kHz采样频率下实现了53.2dB的最大信噪比。当四个质量块时，从1.8V

电源的情况电流消耗为39。

一、引言

微加速度计是尺寸范围从1到100微米的微机械加速度传感器。这些设备可以是例

如压电式、压阻式或电容式的。电容式加速度计具有零静态偏置电流和优良的热

稳定性等优点。此外，通过使用具有较大质量块的体微机械器件，可以达到非常

高的灵敏度。

通过适当的配置，单个电容式加速度计可以同时测量所有三个轴的加速度[1],[2]。

这些设备的结构使得质量块形成四个差分电容器对。通过测量这些电容并进行适

当的线性组合，可以评估线性加速度的所有三个矢量分量（x、y和z方向）。使

用四个质量块时，这些设备还