CN100530544C 在宽带隙材料中制作高功率器件的方法 （克里公司）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利说明书

专利号ZL200580002968.7

[51]Int.Cl.

HO1L21/20(2006.01)

HO1L29/778(2006.01)

HO1S5/00(2006.01)

[45]授权公告日2009年8月19日[11]授权公告号CN100530544C

[22]申请日2005.1.14

[21]申请号200580002968.7

[30]优先权

[32]2004.1.22[33]US[31]10/707,898

[86]国际申请PCT/US2005/0022212005.1.14

[87]国际公布WO2005/074013英2005.8.11

[85]进入国家阶段日期2006.7.21

[73]专利权人克里公司地址美国北卡罗莱纳

[72]发明人亚当·W·萨克斯勒

[56]参考文献

CN1467862A2004.1.14

US2004/0009649A12004.1.15

US2003/0219959A12003.11.27

US6583454B22003.6.24

US6497763B22002.12.24审查员刘深亮

[74]专利代理