化学气相沉积镀膜常用前驱体要求.pdfVIP

附录A

（规范性）

化学气相沉积镀膜常用前驱体要求

A.1单丁基三氯化锡（MBTC）

一种有机锡卤化物的混配物，用于形成SnO膜层，常温下为无色或淡黄色酸性液体，

2

具有腐蚀性。

质量要求：MBTC纯度≥98%。

A.2二甲基二氯化锡（DMTC）

一种有机锡卤化物的混配物，用于形成SnO膜层，常温下为固体，具有强腐蚀性。

2

质量要求：DMTC纯度≥98%。

A.3三氟乙酸（TFA）

用来对膜层进行掺杂，常温下为无色酸性液体，具有强腐蚀性。

质量要求：TFA纯度≥99.9%。

A.4氟化氢（HF）

用来对膜层进行掺杂，在低温或一定压力下是无色酸性液体（沸点19.5℃）。常用氟化

氢的水溶液，即氢氟酸，常温下为无色酸性液体，具有强腐蚀性。

质量要求：HF纯度≥99.9%。

A.5三氯化锑（SbCl）3

用