CN101342404A 用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法 （上海交通大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200810042163.0

[51]Int.Cl.

A61M37/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

[43]公开日2009年1月14日[11]公开号CN101342404A

[22]申请日2008.8.28

[21]申请号200810042163.0

[71]申请人上海交通大学

地址200240上海市闵行区东川路800号

[72]发明人刘景全沈修成王亚军郭忠元

[74]专利代理机构上海交达专利事务所代理人王锡麟王桂忠

权利要求书1页说明书5页附图2页

[54]发明名称

用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法

[57]摘要

本发明涉及一种医用器械技术领域的用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法。本发明首先在氧化硅基片上旋涂光刻胶，经过曝光显影后露出二氧化硅窗口，刻蚀二氧化硅；其次，以二氧化硅为掩膜刻蚀硅形成倒四棱锥图形；接着溅射金属导电层，然后电镀金属层；再去除电镀的金属倒四棱锥底端，开出微流道；最后去除硅，得到异平面金属空心微针。与现有技术相比，本发明使异平面金属微针具有了微流道，而且制作工艺简单，成本低；微针容易刺入