CN101508420B 基于单根碳纳米管的纳米电极制作方法 （北京大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101508420B

(45)授权公告日2011.01.26

(21)申请号200910080999.4

(22)申请日2009.03.31

(73)专利权人北京大学

地址100871北京市海淀区颐和园路5号北

京大学

(72)发明人申钧陈清王威张新祥

(74)专利代理机构北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙)11200

代理人俞达成

(51)Int.CI.

B82B3/00(2006.01)

GO1N27/26(2006.01)

(56)对比文件

EP1903004A1,2008.03.26,全文.

CN1352461A,2002.06.05,全文.

CN1664570A,2005.09.07,全文.

CN101261916

审查员段珂瑜

权利要求书1页

A,2008.09.10,全文.

说明书5页附图5页

(54)发明名称

基于单根碳纳米管的纳米电极制作方法

(57)摘要

CN101508420B本发明公开了一种基于单根碳纳米管的纳米电极制作方法，属于纳米加工、生物技术和化学技术领域。本发明方法包括下列步骤：a)将单根碳纳米管组装在针尖上，b)在所述碳纳米管和针尖表面覆盖绝缘层；c)在所述针尖和另一针尖之间加电压，将所述另一针尖靠近碳纳米管直至接触碳纳米管端部以烧熔端部的绝缘层，或接触碳纳米管侧部以烧熔接触处附近的绝缘层并在接触处烧断碳纳米管，从而使碳纳米管裸露，得到纳米电极。通过本发明方法制得的纳米电极可用于电化

CN101508420B

CN101508420B权利要求书1/1页

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1.一种基于单根碳纳米管的纳米电极制作方法，包括下列步骤：

a)将单根碳纳米管组装在导电针尖上，

b)在所述碳纳米管和针尖表面覆盖绝缘层；

c)在所述针尖和另一导电针尖之间加100V以下的电压，将所述另一针尖靠近碳纳米管直至接触碳纳米管端部以烧熔端部的绝缘层，或接触碳纳米管侧部以烧熔接触处附近的绝缘层并在接触处烧断碳纳米管，从而使碳纳米管裸露，得到纳米电极。

2.如权利要求1所述的纳米电极制作方法，其特征在于，所述碳纳米管是单壁碳纳米管或多壁碳纳米管，所述多壁碳纳米管的直径在30nm以下。

3.如权利要求1所述的纳米电极制作方法，其特征在于，所述针尖和另一针尖各自为钨针尖或碳纤维针尖。

4.如权利要求1所述的纳米电极制作方法，其特征在于，步骤b通过原子层沉积方法在所述碳纳米管和针尖表面覆盖绝缘层。

5.如权利要求1所述的纳米电极制作方法，其特征在于，步骤b所述绝缘层是氧化铪材料。

6.如权利要求1所述的纳米电极制作方法，其特征在于，步骤b所述绝缘层的厚度在15-80nm的范围内。

7.如权利要求1所述的纳米电极制作方法，其特征在于，步骤c所述电压是在100V以下的直流电压。

CN101508420B说明书1/5页

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基于单根碳纳米管的纳米电极制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及纳米电极，尤其涉及一种基于单根碳纳米管制作纳米电极的方法，属于纳米加工、生物技术和化学技术领域。

背景技术

[0002]微电极是研究微系统和生物细胞电化学的十分有效的工具。但目前已有的微电极的尺寸还不能满足微纳米尺度探测的需要。细胞表面的生物化学反应往往发生在微米和亚微米的小空间范围内，反应释放的活性物质不能在整个溶液中均匀分布。而现有微电极的导电面积多数远远大于几平方微米的尺度，大量的导电面积只能收集到背景噪声，而收集不到有用信号，大大降低了探测的信噪比和电极的探测极限。另一方面，出于探测细胞表面化学反应的需要，要求微电极的尖端尺度小到纳米尺度使其能够分辨出细胞表面的不同功能结构。因此，急需发展尖端尺寸和导电面积都很小的纳米电极。

[0003]发展纳米电极主要需从两方面着手，制备曲率半径在纳米尺度的尖锐的导电针尖和对非尖端部分做良好的绝缘。电极的导电材料要求具有氧化还原反应的活性。常见的电极导电材料主要有碳、金、铂等，目前最好的是基于碳的。用碳纤维制备的微电极被广泛使用，但将碳纤维的尖端进一