GB/T 47082-2026碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法.pdf

ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

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GBT470822026

碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法

Testmethodforstackinfaultsofolishedmonocrstallinesiliconcarbidewafers

gpy

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT470822026

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准

SACTC203

化技术委员会材料分技术委员会(//)共同提出并归口。

SACTC203SC2

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本文件起草单位山东天岳先进科技股份有限公司广东天域半导体股份有限公司河北普兴电子

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科技股份有限公司南京百识电子科技有限公司南京盛鑫半导体材料有限公司安徽长飞先进半导体

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股份有限公司西安龙威半导体有限公司浙江晶越半导体有限公司北京天科合达半导体股份有限

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公司中电化合物半导体有限公司宁夏创盛新材料科技有限公司泰科天润半导体科技北京有限

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公司厦门华芯晶圆半导体有限公司

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本文件主要起草人张红岩陈延昌付健行杨世兴宋生丁雄杰薛宏伟胡智威韩旭刘红超

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马林宝欧阳鹏根高冰佘宗静潘尧波胡惠娜刘小平陈基生