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超高真空系统工程师考试试卷及答案

超高真空系统工程师考试试卷

一、填空题（10题，每题1分）

1.国际单位制中真空度的基本单位是______。

2.超高真空（UHV）的压力范围通常是______以下。

3.可直接从大气抽至高真空的超高真空常用泵是______泵。

4.超高真空系统常用的无挥发耐高低温密封材料是______。

5.真空检漏最常用的示漏气体是______。

6.真空系统能达到的最低压力称为______压力。

7.减少真空系统表面吸附气体的关键工艺是______。

8.测量超高真空的常用真空计类型是______电离规。

9.超高真空法兰常用的金属密封形式是______法兰。

10.无油污染的真空泵类型是______真空泵。

二、单项选择题（10题，每题2分）

1.属于超高真空压力范围的是？

A.10?2~10??PaB.1×10??Pa以下C.10?1~1PaD.10?~103Pa

2.分子泵的抽气原理基于？

A.气体扩散B.分子碰撞传递动量C.机械压缩D.物理吸附

3.超高真空系统烘烤的主要目的是？

A.提高泵速B.去除表面吸附气体C.降低系统温度D.增强法兰强度

4.不适合超高真空系统的材料是？

A.304L不锈钢B.钛合金C.普通天然橡胶D.氧化铝陶瓷

5.氦质谱检漏仪的典型检测限是？

A.10?1Pa·L/sB.10?1?Pa·L/sC.1Pa·L/sD.10??Pa·L/s

6.热阴极电离规的测量上限是？

A.10?1PaB.10?3PaC.10??PaD.10??Pa

7.超高真空系统常用的阀门类型是？

A.球阀B.角阀C.闸阀D.蝶阀

8.不能用于超高真空的泵是？

A.分子泵B.溅射离子泵C.旋片泵D.钛升华泵

9.真空系统抽气时间与以下哪项无关？

A.系统容积B.泵速C.初始压力D.环境湿度

10.氦质谱检漏的喷吹法适用于检测？

A.大漏孔B.小漏孔C.所有漏孔D.无法检测动态漏孔

三、多项选择题（10题，每题2分）

1.超高真空系统的核心组成包括？

A.真空室B.抽气机组C.真空测量系统D.检漏仪E.循环水系统

2.真空系统气体释放的主要来源有？

A.表面吸附B.材料溶解气C.外部泄漏D.泵油挥发E.气体渗透

3.超高真空密封技术包括？

A.金属刀口密封B.氟橡胶O圈密封C.玻璃封接D.焊接密封E.螺纹密封

4.属于干式真空泵的是？

A.螺杆泵B.涡旋泵C.旋片泵D.分子泵E.干式罗茨泵

5.真空检漏的常用方法有？

A.氦质谱检漏B.卤素检漏C.压力降法D.超声检漏E.肥皂水检漏

6.超高真空烘烤的注意事项有？

A.控制温度≤400℃（不锈钢）B.维持前级压力≤10?2PaC.避免热应力D.保护真空计E.断电后缓慢冷却

7.影响分子泵抽速的因素有？

A.转速B.叶片结构C.气体种类D.入口压力E.环境温度

8.溅射离子泵的工作原理涉及？

A.离子轰击B.金属溅射C.气体吸附D.扩散泵油回油E.机械压缩

9.真空系统设计需考虑的关键参数有？

A.允许泄漏率B.材料出气率C.泵速匹配D.烘烤兼容性E.制造成本

10.可测量超高真空的真空计有？

A.热阴极电离规B.冷阴极电离规C.皮拉尼规D.电容薄膜规E.热电偶规

四、判断题（10题，每题2分）

1.超高真空系统极限压力越低，性能越好。（）

2.旋片泵属于无油真空泵。（）

3.氦质谱检漏仪仅能检测氦气泄漏。（）

4.合理烘烤可有效降低系统极限压力。（）

5.CF法兰采用金属密封而非橡胶密封。（）

6.分子泵可单独抽大气至超高真空。（）

7.溅射离子泵启动前需前级泵预抽至10?3Pa以下。（）

8.泄漏率越大，系统抽气时间越长。（）

9.陶瓷材料在超高真空下完全无出气。（）

10.热阴极电离规灯丝寿命与工作压力无关。（）

五、简答题（4题，每题5分）

1.简述超高真空系统烘烤的作用及核心注意事项。

2.分子泵与溅射离子泵的适用场景差异是什么？

3.真空系统泄漏的主要原因及精检漏步骤。

4.选择超高真空系统材料需考虑哪些关键因素？

六、讨论题（2题，每题5分）

1.如何在超高真空系统的性能（极限压力、抽速）与成本之间实现合理平衡？

2.运行中超高真空系统压力突然升高，可能的原因及排查流程？

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答案

一、填空题答案

1.帕斯卡（Pa）

2.1×10??Pa

3.分子

4.氟橡胶（Viton）

5.氦气

6.极限

7.真空烘烤

8.热阴极/冷阴极（答一种即可）

9.刀口（CF）

10.干式

二、单项选择题答案

1.B2.B3.B4.C5.B6.A7.B8.C9.D10.B

三、多项选择题答案

1.ABCD2.ABCE3.AB4.ABE5.ABCDE6.ABCDE7.ABCD8.ABC9.ABCDE10.AB

四、判断题答案

1.×2.×3.√4.√5.√6