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超精密加工工程师考试试卷及答案

一、填空题（共10题，每题1分）

1.超精密加工的精度通常在______μm以下，表面粗糙度Ra在______nm以下。

2.超精密金刚石刀具的主要材料是______。

3.超精密机床的主轴常用______轴承提高回转精度。

4.超精密加工环境温度需控制在±______℃以内。

5.离子束加工属于______加工方法（按能量来源分）。

6.超精密磨削的砂轮常用______磨料。

7.误差补偿按原理分为______和______补偿。

8.超精密加工典型方法包括金刚石切削、______等。

9.超精密机床导轨常用______导轨减小摩擦。

10.超精密加工工件需具有良好的______性能避免刀具磨损。

二、单项选择题（共10题，每题2分）

1.以下不属于超精密机床关键部件的是？

A.空气静压主轴B.滚珠丝杠C.液体静压导轨D.恒温控制系统

2.天然金刚石刀具不能加工哪种材料？

A.铝B.铜C.钢D.锗

3.超精密加工表面粗糙度Ra一般不超过？

A.10nmB.100nmC.1μmD.10μm

4.离子束加工中离子束能量主要用于？

A.切削B.溅射C.磨削D.抛光

5.超精密机床环境振动需控制在？

A.1μm/s以下B.10μm/s以下C.100μm/s以下D.1mm/s以下

6.属于原子级加工的方法是？

A.金刚石切削B.离子束刻蚀C.超精密磨削D.激