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超精密加工技师试卷及答案

填空题（10题，1分/题）

1.超精密加工精度通常高于______μm，纳米加工精度可达______nm以下。

2.超精密加工常用刀具材料是______。

3.超精密车床主轴多采用______轴承。

4.误差补偿按时间分为实时补偿和______补偿。

5.超精密加工表面粗糙度Ra通常≤______nm。

6.研磨属于______加工方法。

7.超精密加工环境温度一般控制在±______℃。

8.离子束加工属于______加工。

9.CMP结合化学腐蚀和______作用。

10.超精密加工核心技术含机床、刀具、______和环境控制。

答案

1.0.1；1

2.单晶金刚石

3.空气静压

4.预

5.10

6.超精整

7.0.1

8.特种

9.机械研磨

10.测量

单项选择题（10题，2分/题）

1.超精密加工精度范围是（）

A.10-100μmB.1-10μmC.0.1-1μmD.0.1μm

2.单晶金刚石刀具适合加工（）

A.钢B.铝C.陶瓷D.玻璃

3.误差敏感方向是加工表面的（）

A.法向B.切向C.进给方向D.主轴方向

4.研磨磨料粒度用（）表示

A.目数B.微米C.纳米D.毫米

5.纳米加工尺度通常指（）

A.1nmB.1-100nmC.100-1000nmD.1000nm

6.超精密机床导轨常用（）

A.滑动导轨B.滚动导轨C.静压导轨D.混合导