CN113795906B 接合装置、接合系统以及接合方法 (东京毅力科创株式会社).docxVIP

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  • 2026-03-03 发布于山西
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CN113795906B 接合装置、接合系统以及接合方法 (东京毅力科创株式会社).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN113795906B

(45)授权公告日2025.05.02

(21)申请号202080032907.X

(22)申请日2020.04.27

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113795906A

(43)申请公布日2021.12.14

(30)优先权数据

2019-0881002019.05.08JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.11.01

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2020/0180112020.04.27(87)PCT国际申请的公布数据

WO202

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