CN101938862A 一种具有螺管式加热电阻的三维微型加热器及其制作方法 （上海芯敏微系统技术有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN101938862A

(43)申请公布日2011.01.05

(21)申请号201010278524.9

(22)申请日2010.09.10

(71)申请人上海芯敏微系统技术有限公司

地址200233上海市徐汇区宜山路800号

604室

(72)发明人李铁许磊王跃林

(74)专利代理机构上海智信专利代理有限公司

31002

代理人潘振性

(51)Int.CI.

HO5B3/40(2006.01)

HO5B3/06(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图3页

(54)发明名称

一种具有螺管式加热电阻的三维微型加热器及其制作方法

(57)摘要

CN101938862A本发明涉及一种具有螺管式加热电阻的三维微型加热器及其制作方法，其特征在于横截面呈“V”字形或倒梯形结构的凹槽形加热区支撑膜通过支撑悬梁与衬底框架相连；上加热电阻丝和下加热电阻丝相连形成嵌入在加热区支撑膜内的螺管式加热电阻并通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的电极相连；加热区支撑膜及嵌入其中的螺管式加热电阻由支撑悬梁支撑悬浮于衬