CN101936937A 一种微悬臂梁气体传感器及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN101936937A

(43)申请公布日2011.01.05

(21)申请号201010218524.X

(22)申请日2010.07.06

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)

西源大道2006号

(72)发明人太惠玲蒋亚东苟君严剑飞

(51)Int.CI.

GO1N27/12(2006.01)

B81B3/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图2页

(54)发明名称

一种微悬臂梁气体传感器及其制作方法

(57)摘要

CN101936937A本发明公开了一种微悬臂梁气体传感器，它包括传感单元，其特征在于，每组传感单元包括两个微悬臂梁，分别为测量悬臂梁和参考悬臂梁，所述测量悬臂梁和参考悬臂梁与两个匹配电阻组成惠斯登电桥；测量悬臂梁和参考悬臂梁接在惠斯登电桥的相邻桥臂，所述测量悬臂梁表面设置有压敏和气敏层；所述参考悬臂梁表面沉积一层聚电解质聚二烯丙基氯化铵薄膜；采用光敏聚酰亚胺作为牺牲层材料，通过倒八字窗口进行传感器上下电极连接。该传感器结构简单，测试灵敏度更

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