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基于PLC的超声波干式清洗机的设计

涂晨;王伟;方顺林

【期刊名称】《《山西电子技术》》

【年(卷),期】2019(000)005

【总页数】4页(P46-49)

【关键词】超声波干式清洗机;玻璃基板;PLC

【作者】涂晨;王伟;方顺林

【作者单位】中北大学仪器与电子学院山西太原030051;清大天达光电科技有限

公司北京101204

【正文语种】中文

【中图分类】TP312

本设备用于液晶屏生产过程中的玻璃基板清洗环节，玻璃基板的清洗与干燥是液晶

屏生产流程中的第一步。玻璃基板清洗的洁净度直接关乎到产品的良品率，因此超

声波干式清洗机的设计研发就显得尤为重要。本文提出了一种基于PLC的超声波

干式清洗机的设计。

本设备的结构主要由以下几部分组成：升降部分、传送部分、测厚部分、VCR部

分、清洗系统部分、破片检测部分以及整形部分。在设备的运行过程中，上游机械

手臂将玻璃基板放置到升降部分上，升降部分接收到玻璃基板后下降，玻璃基板就

下降到了传送部分的滚轮上。在玻璃基板往下游流片的过程中，测厚传感器将玻璃

的厚度进行测量，并保证厚度的误差在±0.05mm以内。VCR通过扫描玻璃基板

上的码来确定玻璃的信息并进行数据匹配。完成上述两项检测之后，玻璃基板将流

经清洗头并同时进行双面的清洗，清洗结束后传输到滚轮的传出位置。位于设备传

出位置四个角的破片检测传感器将对玻璃的完整度进行检测，并将结果反馈给

PLC。当玻璃完成了上述检测和清洗之后，设备的整形部分将对玻璃基板进行整形，

来保证下游的机械手臂能够准确的将玻璃基板取走。清洗机工作过程时的流程图如

图1所示。

图1工作过程流程图

本设备的操作面板采用触摸屏来实现人机的交互，可以通过触摸屏来输入设置各种

参数，保证上下游的设备能够准确的完成协作。同时可以通过触摸屏查看设备各部

分的状态，以及玻璃传输过程中的各个传感器的状态。

1清洗机的结构和实现功能

1)机架部分:本设备内部机架使用了槽钢焊接工艺，外部机架使用了铝型材封装。

底部装有可供移动的脚轮，同时脚轮旁边装有可调高度的固定地脚。

2)外型尺寸部分：整体的机架三围尺寸为4225(长)×3800(宽)×3300(高)mm，

可传输的玻璃规格是2500(长)×2200(宽)mm。

3)滚轮传输部分：通过PLC的62DA模块输出电压量，电压量高低决定电机转速

快慢，即控制滚轮和升降平台。在触摸屏上可设的滚轮速度为20～300mm/s。

4)升降部分：此次设计的升降装置是利用PIN柱支撑进行升降的，即支撑玻璃的

顶销组件利用安装有PIN头及万向球的64只支撑杆进行支撑，它们分散在尺寸为

2250mm×2270mm的矩形型材支架上，支撑柱通过轴座连接在升降支架上。

5)测厚部分：测厚部件的测头间隙与玻璃保持同一个水平线上，测厚部件安装于

玻璃入口处的型材架上，当玻璃放置滚轮上后，气缸向前推进，使玻璃进入两个接

触式传感器之间，在玻璃传动当中感应出玻璃厚度并显示在触摸屏上。

6)破片检测部分：本设备中采用的是HanMech公司的RGBS-10-2940破片传

感器，安装在机架的四角来检测传输过程中出现了破损的玻璃，并将结果及时的反

馈到触摸屏上。

7)VCR部分：本设备采用Salaer公司的ID-3000C-150-SLE型号的VCR，整个

VCR部件放置在玻璃基板快传入到清洗系统处的机架上。通过VCR可以及时的扫

出玻璃基板的码，比对身份信息并进行玻璃传输清洗的计数。

8)清洗系统部分：清洗系统的清洗头装置采用日本进口超声波发生器组合而成的

干式除尘装置，通过空气过滤器等一起设计布局于设备的中间组成清洗系统。清洗

头提供的P压和V压分别进行吹气和吸气，将玻璃基板上的各种颗粒物吸附干净。

9)电控系统部分:本设备由三菱Q系列PLC的CPU模块进行控制，通过SSCNET

主站单元控制电机驱动，留有RS232/485通讯单元、CC-LINK单元、CC-LINK

IE单元等在设备内部以及与外部设备进行通讯，以确保设备的可靠性。

2PLC控制系统硬件电路设计

本设备在实际运行中存在有两种控制模式，分别是手动模式和自动模式。当设备进

行各部分调试和检查时，需要技术人员通过手动模式来对设备的各部分的各项参数

指标进行详细检测。特别是在设备进行