CN107024730A 一种采用lift‑off原理制作方形光栅的方法 （福建中科晶创光电科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN107024730A

(43)申请公布日2017.08.08

(21)申请号201710472796.4

(22)申请日2017.06.21

(71)申请人福建中科晶创光电科技有限公司地址350100福建省福州市闽侯县上街镇

科技东路中科院海西研究院(中国科学院福建物质结构研究所)3号楼726室

(72)发明人梁万国李广伟张新汉陈怀熹

缪龙冯新凯邹小林

(74)专利代理机构福州科扬专利事务所35001代理人罗立君

(51)Int.CI.

GO2B5/18(2006.01)

权利要求书3页说明书6页附图9页

(54)发明名称

热板平移烘干PC刻胶合真空旋转

热板平移烘干

PC刻

胶合

真空旋转涂胶

墓片滤洁

噪光、显

镀膜

分离

(57)摘要

CN107024730A本发明涉及一种采用lift-off原理制作方形光栅的方法，包括以下依序进行的步骤：①对方形基片进行清洁；②真空旋转涂胶，使用真空涂胶机对方形基片进行涂胶，胶液通过旋转离心力均匀分散涂抹在方形基片表面；③热板平移烘干，在真空环境下采