INCA Energy中文操作手册.pdfVIP

INCAEnergy中文操作手冊

本手冊適合INCAV4.0以後版本

Analyzer功能＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE4

PointID＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE12

Mapping＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE14

Linescan＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE16

儲存Project＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE17

附註A:能校正＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE18

附註B:執WarmUp＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE19

附註C:執CoolingDown＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE20

附註D:自我檢測＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞＞PAGE21

捷東股份有限公司

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1.樣品準備。

2.放入SEM內觀察。

JSM-5610圖

a.設定高壓(Acc.Volt)後,HTON,,移動至欲分析位置。

b.設定工作距(WD)=20mm(JSM5600/5610)

=15mm(JSM6335/6340F)

=10mm(JSM6500F)

=8mm(JSM6700F)。

c.調整Z軸,使影像聚焦清晰並維持WD=20mm(JSM5600/5610)位置。

d.轉入EDS偵測器至設定位置。

3.從Windows桌面按,開啟INCA軟體,或至START=PROGRAM=

OxfordInstruments內執。

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導覽式視窗開啟。

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4.INCAEnergy有三大功能:

Energy:EDS

圖譜定性,影像定點,Mapping及Wave:WDS

定分析多點分析LinescanCrystal:EBSD

5.Analyzer功能:

a.從Options內選MicroscopeControl…,

有線AutoColumn功能,則HV,WD及倍資會自動從SEM抓取,

否則必須手動輸入,記得要按Enter。

b.保持此視窗開啟,也可讓它最小化。

c.按。

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輸入專案名

稱