CN106952981A 一种基于石墨烯的宽波段探测器结构及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN106952981A

(43)申请公布日2017.07.14

(21)申请号201710174766.5

(22)申请日2017.03.22

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新西区西源

大道2006号

(72)发明人王军潘锐朱瑶瑶黄泽华苟君

(74)专利代理机构成都华风专利事务所(普通合伙)51223

代理人徐丰

(51)Int.CI.

HO1L31/09(2006.01)

HO1L31/028(2006.01)

HO1L31/18(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图3页

(54)发明名称

一种基于石墨烯的宽波段探测器结构及其制作方法

(57)摘要

CN106952981A本发明涉及一种基于石墨烯的宽波段探测器结构及其制作方法，该结构从下到上依次包括硅衬底、反射层及绝缘层，绝缘层上形成有金属天线和电极，金属天线和电极上形成有石墨烯层，石墨烯层覆盖部分电极和全部金属天线图形，石墨烯层上形成有钙钛矿量子点层，钙钛矿量子点层完全覆盖石墨烯层。本发明利用石墨烯和钙钛矿量子