《超高纯纳米二氧化硅溶胶》.docxVIP

ICS03.080.01CCSP35

CQPRA

重庆市国际国内公共关系协会团体标准

T/CQPRA0086—2026

超高纯纳米二氧化硅溶胶

Ultra-highPurityNanoSilicaSol

2026-03-05发布2026-03-05实施

重庆市国际国内公共关系协会发布

I

T/CQPRA0086—2026

目次

前言 III

引言 V

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4分子式 1

5要求 2

6试验方法 2

7检验规则 5

8标志、标签 6

9包装、运输、贮存 6

T/CQPRA0086—2026

III

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由重庆市国际国内公共关系协会提出并归口。

本文件起草单位：石家庄优士科电子科技有限公司、河北硅研电子材料有限公司、河北科技大学。

本文件主要起草人：朱斌、高慧敏、宋玉明。

T/CQPRA0086—2026

V

引

言

随着半导体、集成电路及先进电子制造技术的快速发展，对关键基础材料的纯度、粒径一致性及稳定性提出了更高要求。超高纯纳米二氧化硅溶胶作为一种重要的功能性无机材料，因其粒径可控、分散性好、金属杂质含量低等特点，广泛应用于半导体化学机械抛光（CMP）、精密制造、电子封装及相关高端工艺领域，其产品质量直接影响终端器件的性能与可靠性。

目前，国内在超高纯纳米二氧化硅溶胶的产品分类、技术指标、试验方法及检验规则等方面尚缺乏统一、系统的技术规范，不同生产企业在指标设置和检测方法上存在一定差异，不利于产品质量控制、技术交流及市场应用。为规范超高纯纳米二氧化硅溶胶的技术要求和检测方法，提升产品质量的一致性与可比性，有必要制定相应的技术标准。

本文件在充分结合超高纯纳米二氧化硅溶胶的产品特性和实际应用需求的基础上，对其分类和编码、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容作出规定，旨在为产品生产、质量检验及应用提供统一的技术依据，促进超高纯纳米二氧化硅溶胶产品的规范化生产与高质量发展。

T/CQPRA0086—2026

1

超高纯纳米二氧化硅溶胶

警告：本文件试验方法中使用的部分试剂具有腐蚀性，操作时需小心谨慎！如溅到皮肤上应立即用水冲洗，严重者应立即治疗。

1范围

本文件规定了超高纯纳米二氧化硅溶胶的分类和编码、要求、试验方法、检验规则以及标志、标签、包装、运输、储存。

本文适用于电子级超高纯硅溶胶。

注：该产品主要用于半导体CMP研磨抛光、精密铸造、环保涂料及电子封装等领域，还可用于粘结剂、催化剂载体等。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191-2008包装储运图示标志

GB/T4472-2011化工产品密度、相对密度的测定

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6682-2008分析实验室用水规格和试验方法

GB/T23769无机化工产品水溶液中pH值测定通用方法

GB/T29022粒度分析动态光散射法(DLS)

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4分子式

超高纯纳米二氧化硅溶胶的分子式可表示为：

2?2······················································(1)

式中：

2

T/CQPRA0086—2026

、——为非定值，表示二氧化硅与水分子以一定比例形成的水合胶体结构。

5要求

5.1外观：透明、半透明或乳白色液体，无肉眼可见颗粒。

5.2超高纯纳米二氧化硅溶胶按本文件规定的试验方法应符合表1的规定。

表1超高纯纳米二氧化硅溶胶技术指标

项目

指标

HM-2

HM-3

HM-5

二氧化硅（SiO2），w/%

19-21

19-21

19-21

pH

7-7.5

7-7.5

7-7.5

粘度（25℃),