宣贯培训(2026年)《SJT 11865-2022功率器件用φ150mm n型碳化硅衬底》.pptxVIP

;

目录

一、前瞻洞察与标准战略意义：深度剖析φ150mmn型碳化硅衬底国家标准如何重塑第三代半导体产业竞争格局

二、从晶锭到晶圆：专家视角深度解读标准中关于φ150mm碳化硅单晶衬底核心制备工艺与关键质量控制节点

三、微观世界的尺规：全面拆解标准中n型导电型号、晶向、偏角、直径与厚度等关键几何与电学参数的技术内涵

四、表面即战场：深入剖析标准对碳化硅衬底表面质量（粗糙度、翘曲度、弯曲度、TTV）的严苛要求及其对器件性能的底层逻辑

五、缺陷的管控艺术：系统阐述标准如何规范微管、位错、夹杂物等晶体缺陷的检测方法与允收准则，确保衬底完美性

六、电学性能的基石：专业解读标准中电阻率、载流