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CN114354651B 一种光学检测装置及信噪比估算方法、缺陷检测方法 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-07 发布于山西
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CN114354651B 一种光学检测装置及信噪比估算方法、缺陷检测方法 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN114354651B

    (45)授权公告日2025.05.06

    (21)申请号202111629210.3

    (22)申请日2021.12.28

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114354651A

    (43)申请公布日2022.04.15

    (73)专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司地址518000广东省深圳市龙华区大浪街

    道同胜社区上横朗第四工业区2号

    101、201、301

    (72)发明人陈鲁方一黄有为张嵩

    (74)专利代理机构深圳鼎合诚知识产权代理有限公司4428

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